程序如下
(1）自业主委托专门检测认证单位承担洁净室的认证工作 。委托可以是一 次性的也可以是阶段性的，比如一年的委托合约，在双方的合约中应明确委托认证的内容、测试要求（含 时间间隔等）、 检测认证报告内容和要求、 认证检测的进度安排、各方的责任（ 包括保密要求）等。
(2）认证检测用仪器仪表必须在标定 使用的有放期内 。
(3）认证检测之前，洁净 室的各功能系统应达到稳定运行，并由业主提供稳定运行的句关记录。
(4）按合约要求逐项进行检测，并作详细记录 。记录应该清晰，并有必要的 实测状况或有关问题的说明。
(5）写出认证检测报告，并明确说明该洁净室是否符合规定要求及各项综合性 参数的明 确数据或计算结果。若检测结果超过规定的限值，说明该洁净室不合格时 ，检测认证单位应提供分析 意见和改进 的建议，由业主或业主委托 有关单位进行 改进、完 善之后，进行 再 认证。
(6）洁净室每次认证或再认证均应由检测认证单位提供原始记录和综 合性能检测认证报告。
