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光度计(Aerosol Photometer)配合气溶胶发生器用于 HEPA/ULPA 过滤器的检漏(PAO/DOP 法),是洁净室高效过滤器完整性测试的核心设备。
洁净室 HEPA/ULPA 过滤器检漏、高效送风口完整性测试。
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