洁净室检测之SQ、DQ、IQ、OQ、PQ

洁净室检测之SQ、DQ、IQ、OQ、PQ

洁净室检测的目的在于证实和书面证明：洁净室设计是符合要求的,而安装和投产是符合设计和规范文件的。

关键词：

测试 SQ 技术 DQ 设计 IQ 空态 OQ 静态 PQ 动态 检测

五阶段检测：

一、技术性检测(Specification Qualification-SQ)

检查设计工程中平面技术方案和指标(技术特性)是否满足需求，并符合相关规程，是否符合规程实施监督。

顺利完成SQ阶段后可开始编制设计的原则方案(构思)-basic design(DQ)。

二、设计检测(Design Qualification-QD)

1.QD1阶段-构思

检查设计的构思和工艺设备,洁净室和各部分基础设施的招标文件是否符合作为设计依据的要求，规程和标准。

顺利完成QD1阶段后，便可将设计提交给招标，并在选定供货方，即可转入施工文件编制阶段。

2.QD2阶段-施工文件

检查施工图，设计，包括图纸，材料和设备的技术规格，以及其他文件是否符合编制要求，顺利完成QD2阶段后，即可开始材料和设备的定货和供货，基础系统的施工和安装，准备测试和投产。

依次实施各测试阶段时要特别注意并严格执行，便能使施工和IQ、OQ和PQ测试阶段保持顺利，然而，减少或没有严格遵守将带来的后果是-资金的浪费。

三、空态洁净室检测(Installaton Qualification-IQ)

设施已建成，所有动力接通并运行，但无生产设备，材料及人员的状态下进行洁净室的检测。

四、静态洁净室检测(Operational Qualification-OQ)

在设施已建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态下运行，但无生产人员的状况下进行洁净室的检测。

五、动态洁净室检测(Performan Qualification-PQ)

在设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下工作时进行洁净室检测。