洁净室方案（FFU在洁净室的应用）

　　由以上之定义，我们可知构成洁净室须俱备以下各项因素：

1 .能除去空气中飘游之微尘粒子。
　　2 .能防止微尘粒子之产生。
　　3 .温度和湿度之控制。
　　4 .压力之调节。
　　5 .有害气体之排除。
　　6 .结构物与隔间之气密性。
　　7 .静电之防制。
　　8 .电磁干扰之预防。
　　9 .安全因素之考虑。
　　10.节能之考量。

洁净室净化系统

         Fan Tower+panel filter            AHU+Filter box                 Fan filter Unit    

    洁净室净化系统有上图中的三个大的部分组成：Fan Tower+panel filter 、AHU+Filter box 、Fan filter Unit 。

                                    地板/墙板                                                                                  FFU

                                              龙骨

集中式洁净室

中央式无尘室系统压力（单位Pa)分布模拟结果

FFU系统

洁净室内空气压力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性

FFU在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是：
（1）取均流及减少噪音的措施，噪音可在50db以内；
（2）动机采用DC/EC（电子整流电机），以耗较原交流电机节约近50%，因为小风机所用小容量（功率<1P）的交流电机，一般皆为电容分相式或隐极式，其效率仅40%左右，而DC/EC电机的效率可达75%～80%；在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗，但目前投资回收期尚长而未广泛采用，一般常用分组群控或全部群控。
（3）但FFU出口静压不能过大，一般采用出口风速0.38m/s，此时其静压一般在250Pa以内。

优点：
（1）灵活性大，便于改造；                                                        （2）占用建筑物空间较少；
（3）洁净净室内空气压力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性。

缺点：
（1）要求回风道全部阻力（包括多孔地板、格栅及风道）、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力（在初阻力时），总共应控制在165Pa左右，以满足运行时最大阻力在250Pa以内。因此干表冷器的传热面积要较大，回风道尺寸亦要较大，多孔地板及格栅等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回风道阻力在15Pa以内，否则就需要再增设加压风机系统，这就是降低了FFU系统的综合优点。
(2)采用DC/EC电机后，单位风量的能耗可能比当前一般大型离心风机的集中系统为低，但已有研究指出，比采用改进后的大型轴流风机的回风系统的能耗还是要高。因此需要注意大型轴流风机的效率提高及其系统的阻力降低的因素。
(3）一般FFU系统由于单位风量的能耗较大，因此洁净室的冷负荷亦相应增加。