静电检测

静电测试内容：
  泄漏电阻
  系统接地电阻
  体积电阻
  表面电阻
  系统电阻
依据规范：GB50591-2010《洁净室施工及验收规范》     
        GB/T25915-2010     《洁净室及相关受控环境》
        ISO 14644_2006     Cleanrooms and associated controlled environments