洁净厂房设计与标准(一)

发布时间:2016-04-27 22:38 阅读次数:
洁净厂房设计与标准(一)

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1.1 意义及演变
(1) 随着科学技术的日新月异,洁净室在一些产品生产中应用后,为了统一洁净室的作法、技术要求,在使用部门产业界的要求下,世界各国陆续自行制定了洁净室标准,著名的美国FS209系列洁净室标准是从1963年12月发布FS209开始,相继发布了FS209A至209E,其修改过程情况见表1。
 
表1、FS209A至209E的修订变化
 

 

标准号
时间
修正内容
209A
1966年8月
等级分类:0.5um
             100级、10000级、100000级
209B
1977年4月
 文字修改
209B修正
1977年5月
增加:1000级
209C
1987年10月
增加:1级、10级
      0.1um、0.2um、0.3um
100级增0.2um、0.3um
209D
1988年6月
改正209C上的文字
209E
1992年12月
增加M1、M7

 

 
除了美国之外,世界各国如英国、日本等都相继制定洁净室标准并进行多次修订,表2是世界一些国家公布的洁净室标准年表。
 
表2、世界一些国家公布的洁净室标准年表
 

 

公布时间
各国标准
1961.3
美国空军技术条令TO.00-25-203
1963.7
美国空军技术条令TO.00-25-203 第一次修订本
1963.12
美国联邦标准FS-209
1964以前
苏联标准(计重法)
1965.8
美国空军技术条令TO.00-25-203 第二次修订本
1965
苏联标准CH317-65(计数法)
1966.6.前
联邦德国标准
1966.8.
美国联邦标准FS-209A
1967.8.
美国国家航空与航天管理局NASA标准NHB5340.2
1968
民主德国标准
1972
法国标准ASPEC Communication 7202
1973.4.
美国联邦标准FS-209B
1973
苏联标准OCT11Ⅱ-170-050.001-73
1975
日本工业标准B9920
1976.5.
美国联邦标准209B修订
1976.1977
联邦德国标准VDI2083
1976
英国标准
1976
澳大利亚标准
1984
中国标准《洁净厂房设计规范》GBJ73-84
1987.10.
美国联邦标准209C
1988
日本工业标准JISB9920洁净室悬浮微粒的测定方法和洁净室洁净度的评价方法(修订案)
1988
日本空气洁净协会标准
1988.6.
美国联邦标准FS-209D
1992.11.
美国联邦标准FS-209E
1996
俄罗斯标准GOSTR20766-95
1999.5.
国际标准ISO14644-1
2001.11.
中国标准GB50073-2001

 

 
(2)洁净室标准是洁净室设计、建造以至运营的主要依据。洁净室标准规定了统一的空气洁净度等级、统一技术要求,推荐相应的各种技术措施。为各种类型的产品生产或使用环境的防止污染 、防止交叉污染提供了可以信赖的保证条件;为提高产品质量、成品率创造了必要的技术条件;为确保洁净室的安全运营设置了相关的功能系统和装置。洁净室标准为推广新技术、 新工艺 、新设备,制定必要的推荐性技术规定、 技术措施 、产品性能及检测标准等,促进洁净室的建造、运营降低费用、 降低能耗 、减少各种消耗。洁净室标准是源于各类产品生产工艺的开发研究和使用要求的不断变化或提高,洁净室标准也源于洁净技术的开发研究和发展,源于各种先进的、 效率高的新设备、 新系统的出现,所以洁净室标准具有重要性 、实用性的双重性,因为重要性就必须适应需要作一些严格规定、 统一的技术条件或要求;又因为实用性,它必须随着科学技术的发展、 产品生产技术发展和洁净技术本身的发展,不断进行修改 、变化,适应经济发展和各行各业的要求 、需要。
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