洁净室的空气系统

输入来自外部的洁净室的空气被过滤以排除灰尘和内部空气通过不断再循环高效微粒空气（HEPA）和/或超低微粒空气（ULPA）过滤器以除去内部产生的污染物。
员工进入和离开，通过气闸（有时包括风淋阶段），并穿上防护服，如帽子，口罩，手套，靴子和工作服。

一些洁净室被保持在正压，这样，如果有任何泄漏，空气泄漏出腔室，而不是未经过滤的空气在到来。

一些净室HVAC系统控制湿度到低的水平，使得额外的设备（“电离”）是必要的，以防止静电放电（ESD）的问题。