气流流向检测(流型测试)用于观察洁净工作区域内气流的运动模式,并评估气流平行度,确认气流组织形式(层流 / 紊流)符合设计与工艺保护要求。
一、检测目的
观察工作区域气流的运动模式,评估仪器设备、操作人员对气流的影响,确认气流能有效带走污染、保护产品与关键操作点。
二、检测方法
采用发烟 / 示踪法可视化气流轨迹;平行度测量应在风速与均匀度测试合格后进行,过早测试可能得到错误数据。
三、检测内容
- 气流流向(流型)可视化记录
- 气流平行度测量
- 设备与人员干扰对气流影响评估
四、检测步骤
- 确认风速与均匀度测试已通过
- 在送风口及工作区释放示踪烟雾
- 观察并记录气流走向与流型
- 测量关键截面气流平行度
- 出具流向照片 / 视频与结论
五、依据标准
- ISO 14644-3 洁净室检测方法
- GB 50591《洁净室施工及验收规范》
六、交付成果
- 气流流向照片 / 视频
- 平行度测量数据
- 流型符合性结论与建议